Handbook of microlithography, micromachining and microfabrication
- Författare
- (P. Rai-Choudhury, editor.)
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| SPIE Optical Engineering Press, IEE - The Institution of Electrical Engineers | cop. 1997 | USA, Bellingham, Wash, London | 2 vol. |